「先端フォトレジスト技術」
t-masterEUVレジストを中心に、材料およびプロセスの開発が精力的に進められている。歴史的なレジスト材料を俯瞰し、金属レジストなどの最近の研究動向、将来展望を概説。
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| 回 | 第231回講演会 |
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| テーマ | |
| 開催年月日 | 2019年4月25日 |
| 講演タイトル | 「先端フォトレジスト技術」 |
| 講演者 | 丸山 研 |
| 所属 | ＪＳＲ（株） |
| 講演概要 | EUVレジストを中心に、材料およびプロセスの開発が精力的に進められている。歴史的なレジスト材料を俯瞰し、金属レジストなどの最近の研究動向、将来展望を概説。 |
| キーワード |