「感光性耐熱材料の最近の進歩」

感光性ポリイミド、感光性PBOはファンアウト型パッケージの再配線材料への展開が進められている。これらのために銅配線との接着、マイグレーション耐性、高温放置耐性などについての東レでの検討内容について簡単に触れるとともに、低温硬化に向けた取り組みなどについて紹介する。さらに、低誘電率化・低誘電損失化などの今後の開発のトレンドについて。