「フォトポリマーの材料設計」
t-master感光性材料をパターン転写のために用いる場合と永久膜として用いる場合ではその材料設計が異なる。塗布、露光、現像などのプロセスにおける留意点を解説し、感光材料の設計を考察する。また高感度、高解像度のパターンを得るために重要な光化学反応、現像についても解説.
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| 回 | 第29回フォトポリマー講習会 |
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| テーマ | |
| 開催年月日 | 2019年8月29日・30日 |
| 講演タイトル | 「フォトポリマーの材料設計」 |
| 講演者 | 上野 巧 |
| 所属 | 信州大学 |
| 講演概要 | 感光性材料をパターン転写のために用いる場合と永久膜として用いる場合ではその材料設計が異なる。塗布、露光、現像などのプロセスにおける留意点を解説し、感光材料の設計を考察する。また高感度、高解像度のパターンを得るために重要な光化学反応、現像についても解説. |
| キーワード | 露光、現像、光化学反応、感度、解像度 |