「微細加工用レジスト」
t-masterＬＳＩの微細加工は、レジスト材料の発展によって支えられてきた。本講演では、レジスト材料開発の歴史と、波長別レジスト材料について述べる。
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| 回 | 第29回フォトポリマー講習会 |
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| テーマ | |
| 開催年月日 | 2019年8月29日・30日 |
| 講演タイトル | 「微細加工用レジスト」 |
| 講演者 | 渡邊 健夫 |
| 所属 | 兵庫県立大学 |
| 講演概要 | ＬＳＩの微細加工は、レジスト材料の発展によって支えられてきた。本講演では、レジスト材料開発の歴史と、波長別レジスト材料について述べる。 |
| キーワード | ノボラックレジスト、ＫｒＦジスト、ＡｒＦレジスト、EUVレジスト、自己組織化 |